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公司简介
关于FEI公司: Tools for NanoTech FEI 公司的纳米技术工具,以聚焦离子束和电子束技术为特色,提供最高分辨率小于1 埃的3D 特征描述、分析及修改功能。公司在北美和欧洲拥有研究开发中心,在全球四十多个国家经营销售和提供维修服务。FEI 公司将纳米尺度呈献给研究人员和生产厂商,协助将本世纪一些最杰出的理念变成现实。FEI公司历史简介: 1949年 飞利浦电子光学发布了全球第一台商用透射电子显微镜 1958年 飞利浦电子光学突破10埃的透射电镜分辨率(EM200) 1971年 FEI成立,向用户提供高纯、单一取向晶体作为场发射研究的材料 1975年 飞利浦电子光学发布EM400透射电子显微镜,成为现代透射电镜发展的基础 1981年 FEI发明液体金属离子源(LMI),成为聚焦离子束(FIB)设备开发的基础 1982年 FEI第一只聚焦离子束镜筒交货 1983年 FEI交付第一个静电场聚焦电子镜筒 Micrion成立, 致力于开发掩膜修复用途的聚焦离子束系统 1985年 Micrion交付第一台聚焦离子束系统 1989年 FEI发布完整的FIB工作站 1990年 飞利浦电子光学发布PC控制的扫描电子显微镜XL系列,成为扫描电镜数字化的先驱 1990年 飞利浦第一台6“晶片样品台的扫描电镜发布 1993年 FEI和飞利浦电子光学联合发布“双束”(电子束+离子束)工作站 1995年 FEI交付第100台聚焦离子束(FIB)系统 1996年 FEI交付第5000只液态金属离子源 Micrion发布其8000系列聚焦离子束系统, 用于IC掩膜修复 1996年 飞利浦电子光学收购美国ElectronScan公司及其”环境扫描(ESEM)”技术 飞利浦电子光学收购位于捷克布尔诺的Delmi公司 1997年 FEI和飞利浦电子光学宣布合并其全球业务 交付第一台晶片工厂的在线双束系统 1998年 FEI发布全数字化、全一体化的透射电子显微镜Tecnai 1999年 新的FEI购并美国Micrion公司 2000年 发布第一台小样品台双束系统 2001年 交付第一台安装有单色器的透射电镜 2002年 FEI收购Atomika (SIMS二次离子质谱仪) 2002年 FEI发布Quanta系列扫描电子显微镜 2003年 FEI发布科学研究和工业分析用“双束”(电子束+离子束)工作站Quanta 3D和Nova NanoLab 2003年 FEI收购Emispec (ESVision) 2004年 FEI使用安装有单色器和球差矫正器的200kV Tecnai场发射透射电子显微镜突破1埃分辨率极限 2005年 FEI发布全球第一台超高分辨率低真空场发射扫描电子显微镜Nova NanoSEM FEI发布专门用于图像矫正的透射电镜Titan 80-300, 分辨率达到0.7埃
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