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砷化镓晶体生长工艺配套设备 (1) 主要技术指标 ■ 常用工作温度：300～1000℃ ■ 使用温度：0-1200℃ ■ 控制精度：≤±1℃ ■ 恒温区长度： 600mm ■ 升温功率：≤10KVA ■ 保温功率：≤5KVA ■ 开机重复性：≤±1℃ ■ 冷态真空度：5×10-3Pa ■ 石英真空室内径：根据用户要求设计。 ■ 环境温度：-10～45℃ ■ 相对湿度：≤85% ■ 供电电源：三相五线 380V±10% 50Hz
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