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设有3个加工水流入口的洗擦器。提供包括:LPCVD,APCVD,PECVD,晶体外延附生,金属蚀刻,聚合物蚀刻。设计了高循环水流和二阶水流计数器的圆形的压紧柱。去除溢出水的瓦斯包括:F2,CI2,NH3,SiF4,HF,散粒性效率大于百分之99。208伏/3相
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