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(1)太阳能电池专用扩散炉主要技术数据       ◆工作温度:                         300~1300℃  ◆有效口径                             根据用户扩散片确定,可订制  ◆恒温区长度:                    1080mm(可根据用户要求定制)  ◆温区精度 (静态闭管测试):600℃<工作温度<1200℃:              ±0.5℃                                  300℃≤工作温度≤600℃:                 ±1℃  ◆单点温度稳定性(静态闭管测试):          600℃<工作温度<1200℃:               ±0.5℃/24h          300℃≤工作温度≤600℃:                 ±1℃/24h  ◆温度斜变能力:最大可控升温速度(300~1300℃):      15℃/min                       最大降温速度(1300~900℃):               5℃/min  ◆气体流量设定精度:                               ±2%FS  ◆气路系统气密性:                                   1×10-7pa.m3/s  ◆自动送料装置行程:                               ~2000mm         速度:                                           5~1000mm/min         SiC浆承重                                               17kg  ◆装片数量                                          400片/管  ◆净化台洁净度                                   100级(10000级厂房)  ◆三相五线制                   380V±10%,50Hz±10%Hz;  ◆冷却水:                         2~4Kgf/cm2,~8L/min  (2) 太阳能电池扩散主要有开管扩散和闭管扩散两种形式   闭管扩散的主要特点如下:  ◆闭管磷扩散,带有工艺废气冷却定向回收装置,偏磷酸、CL2分开收集处理;工艺废气集中收集从尾部定向排出;各种工艺气体可分开送入石英管内,工艺气体(三氯氧磷)可采用喷淋式方式引入到石英管内。,闭管扩散方式工艺过程完全不受外界环境干扰,工艺质量完全受保护  ◆自动化程度:自动控制温度及工艺过程。主控温控模块采用英国欧陆品牌,可在达到±0.25℃的控制精度。  ◆送取片方式:悬臂式推拉舟。采用侧面布局的悬臂推拉结构,可有效的防止偏磷酸下滴,造成推拉机构受腐蚀,影响推拉机构的精确性。我公司推拉系统采用光杠传动系统,本系统比丝杠传动系统运行更平稳,避免了推拉舟长时间运行后由于丝杠变形引起的推拉舟的震动;防止突然断电时,丝杠抱死,拖不出炉膛。 
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本文阅读关键词:太阳能设备,太阳能光伏设备,电池片
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公 司: 青岛赛瑞达设备制造有限公司 联系人: 宋德鹏    添加为商业伙伴
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