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太阳能专用扩散炉,供太阳能电池片生产线上156mm×156mm/125mmX125mm方片扩散、氧化、退火等工艺使用。具有四套独立的工艺炉管。 产品描述: ◆关键件全部采用进口件,具有高可靠性。 ◆采用PC作为控制机,对炉温、气体流量、闸门动作进行自动控制,并管理全部工艺时序   ◆具有多种工艺管路,可供用户随意灵活配置。 ◆具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能。 ◆控温精度好,温区控温稳定性好。 ◆新型炉体设计结构,保证工艺过程中温区温度的快速稳定,更适合于连续性大规模生产。 ◆闭管式扩散系统更洁净、更环保。  主要技术指标:     ◆工作温度: 300~1300℃◆有效口径 根据用户扩散片确定,可订制◆恒温区长度: 1080mm(可根据用户要求定制)◆温区精度 (静态闭管测试):      600℃<工作温度<1200℃: ±0.5℃      300℃≤工作温度≤600℃: ±1℃◆单点温度稳定性(静态闭管测试):      600℃<工作温度<1200℃: ±0.5℃/24h      300℃≤工作温度≤600℃: ±1℃/24h◆温度斜变能力:      最大可控升温速度(300~1300℃):15℃/min      最大降温速度(1300~900℃): 5℃/min◆气体流量设定精度: ±2%FS◆气路系统气密性: 1×10-7pa.m3/s◆自动送料装置行程: ~2000mm      速度: 5~1000mm/min      SiC浆承重 19kg◆装片数量 400片/管◆净化台洁净度 100级(10000级厂房)◆三相五线制 380V±10%,50Hz±10%Hz;◆冷却水: 2~4Kgf/cm2,~8L/min
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本文阅读关键词:扩散炉、太阳能、太阳能专用扩散炉,热处理设备、集成电路
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公 司: 北京晶伏华控电子设备有限公司 联系人: 刘经理    添加为商业伙伴
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