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【商品名称】:TG2U型光刻机 【商品规格】:TG2U 【商品简介】: 产品特点:TG2U型光刻机是制造中,大规模集成电路,传感器,表面波元件,磁泡,微波和CCD等器件的重要光刻设备。 欢迎您联系我们获得光刻机(TG2U型)的更多信息。 【备  注】: TG2U型光刻机主要技术参数见下表: 项目 参数 适用的掩模尺寸 a.100X100X2-3mm;b.75X75X2—3mm;c.63X63X2—3(选购); 适用的硅片尺寸 φ35—75mm 光刻图形线条 3-4μm, 最细可达2μm 掩模与硅片之间的相对位移范围 X/Y±2.5mm,(族转) ±6° 承片台(硅片)绕主轴旋转 粗调360度,可微调 承片工作台综合移动范围 X,Y合成φ75mm 承片台的球座平面至掩模板面升降 0—7.5mm 曝光灯源 GCQ200W超高压汞灯,曝光波长,300―436nm 曝光系统能量不低于 7mw 曝光系统的照度均匀度在φ75mm范围内 ±5% 显微镜的照明波长 ≈545nm 曝光时间控制范围 0.1秒—99分 双目显微镜的放大倍数 a.目镜共二种:10X,16X;b.平视场物镜共三种:6X,9X,15X;c.合成放大倍率:60X—240X; 真空接触压力 ≥0.7kgf 装箱尺寸 1000X850X980mm(2只) 装箱重量 200kg 注:用户有何特殊要求可协商。
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公 司: 北京同志卓越科教有限公司 联系人: 赵永先    添加为商业伙伴
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