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该仪器是在DX-5/6A、B型高精度X射线粘料定向仪的基础上研发成功的。主要特点是:去掉了原测角仪蜗轮副,采用进口特种角度编码器,与主轴直接连接:粘料装置采用进口特种导轨:有关部分也做了重大改进:致使水晶棒粘结精度大大提高,特别适合于线切割机、多刀切割机配套,以切割出更高精度晶片。 该仪器为双工作台,左测角仪用于高精度晶片测定。右边为水晶晶棒粘料装置,该型装置,晶棒以大R面定位,用千分尺微调,切型角由测角仪调节。该仪器主要用于AT切型,也可用于BT切型,主要参数、特点见下表。 项目 参数 料板尺寸 330×200×20 晶棒厚度 10,9,(8,7) 粘结层数 5(6) 层数调节方式 垫块 晶棒在料板上的粘结精度 ±5″ 粘结精度显示方式 数字/模拟率表,具有峰值记忆力功能 切型角最小读数 1″ 料板固定方式 电磁铁 料板移动方式 特种精密导轨 主机型号 DX-4A型 注意事项: 1.因本装置适应多种厚度晶棒粘结,故要求晶棒大R面足够大。晶棒最好由Z块切成:如为Y棒,则需平行大R面切一刀,以增加大R面面积。 2.如客户对料板尺寸、晶棒厚度等有不同要求,可协商。
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本文阅读关键词:X射线粘料定向仪
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