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该仪器主要用于硅单晶锭的定向,也可用于其它种单晶锭(棒)的定向。 该仪器为双工作台,每个工作台上有一对滚杠,一对用于测定3~5英寸的晶锭,另一对用于测定6~8英寸的晶锭,晶锭放在一对滚杠上,其端面在X射线照射下定向。 主要技术参数见下表: 项目 参数 晶锭直径 3~8英寸 晶锭最大长度 500 测定晶面(硅) 111,100 定向精度 ±30″ 最小读数 1″
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