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技术参数 1.分辨率:  高真空模式 3.0nm @ 30kV, 10nm @ 3kV  低真空模式 3.0nm @ 30kV, 12nm @ 3kV  环境真空模式 3.0nm @ 30kV  背散射电子像 4.0nm @ 30kV 2.样品室压力最高达2600Pa 3.加速电压200V ~ 30kV,连续调节 4.样品台移动范围  Quanta 200: X=Y=50mm  Quanta 400: X=Y=100mm  Quanta 600: X=Y=150mm 主要特点 1.FEI ESEM(环境扫描电镜)技术, 可在高真空、低真空和环境真空条件下对各种样品进行观察和分析。 2.所有真空条件下的二次电子、背散射电子观察和微观分析。 3.先进的系统结构平台,全数字化系统。 4.可同时安装能谱仪、波谱仪和EBSP系统。 5.可安装低温冷台、加热台、拉伸台等进行样品的动态观察和分析。 仪器介绍 Quanta系列扫描电子显微镜是FEI公司最新一代的通用型扫描电子显微镜,是飞利浦著名的XL系列产品的升级换代产品。 在研究开发和生产XL系列(1990~2001年)的基础上, 结合FEI/飞利浦最新研究成果和计算机、电气控制方面的最新技术, FEI/飞利浦新推出的Quanta系列扫描电子显微镜成为目前技术先进、操作方便、维护简单的扫描电镜产品。
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