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技术参数 1.SEM:分辨率3.5nm@30kV@高真空模式、ESEM环境真空模式;加速电压200V-30kV 2.FIB:分辨率 10nm@30kV;加速电压 5-30kV 3.ESEM真空系统,样品室压力可达2600Pa 4.探测器:E-T二次电子探测器、LF GSED大视场气体二次电子探测器、GSED气体二次电子探测器、样品室红外CCD探测器 主要特点 1.FEI ESEM环境扫描电镜技术和FIB聚焦离子束技术的完美结合 2.对样品表面和内部进行观察和分析,而无需样品制备 3.对观察图像和分析结果进行三维重构 4.适合各种样品,包括导电样品、不导电样品、含水含油样品等等 5.可安装3个GIS(气体注入系统)实现材料沉积或增强蚀刻 仪器介绍 Quanta 3D SEM/FIB “双束”工作站是FEI公司结合ESEM环境扫描电镜技术和FIB聚焦离子束技术而设计制造的全新2D/3D分析工具。
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