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技术参数 1. 分辨率   高真空模式 1.0nm @ 15kV         1.8nm @ 1kV         0.8nm @ 30kV(STEM探测器)   低真空模式 1.5nm @ 10kV(Helix探测器)         1.8nm @ 3kV(Helix探测器) 2. 加速电压 200V - 30kV,连续可调 3. 电子束流范围 0.3pA - 22nA, 连续可调 4. 样品台移动范围   Nova 200 NanoSEM: X=Y=50mm   Nova 600 NanoSEM: X=Y=150mm 主要特点 1. 超高分辨率Schottky场发射电子枪 2. 全球唯一的超高分辨率低真空场发射扫描电镜. 具有高真空和低真空(<200Pa)两种真空模式. 3. 对容易污染、容易电荷积累的纳米材料和纳米器件进行观察和分析 4. 完全无油真空系统 5. 可选配电子束曝光、电子束诱导沉积等纳米设计/加工功能 6. FEI公司基于Windows XP的-xT用户界面 仪器介绍 该产品是世界上第一款可以对有机材料、基板、多孔材料、塑料以及高聚物材料等有电荷积累的样品和/或污染性样品进行超高分辨表征的低真空场发射扫描电子显微镜(FEG-SEM)。作为FEI公司引领市场的众多设备中最新的一员,Nova NanoSEM为用户在纳米研究、开发与生产的相关工作提供了更多的可能。 Nova NanoSEM的出现为那些非导电的以及有污染的纳米材料研究和开发者们带来了新的表征手段。与NanoSEM同时发布的FEI Helix探测技术将浸入式透镜和低真空扫描电镜两种技术成功地组合在一起,这在场发射扫描电镜的历史上还是第一次。在给用户带来超高分辨率的同时,还能在低真空环境下有效地抑制非导电材料的电荷积累效应。Nova NanoSEM的这种新技术还可以有效地抑制由前道样品处理过程所引起的电子束诱导污染。 除了低真空条件下二次电子和背散射电子成像以外,Nova NanoSEM还具有浸入式透镜的技术和FEI所特有的使用电子束进行纳米结构沉积的气体化学技术,所有的这些特点使之成为纳米结构与纳米材料研究领域中最先进、最理想的扫描电镜。
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本文阅读关键词:电子显微镜
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