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LED专用合金炉 ◆关键件全部采用进口件,具有高可靠性。 ◆具有可编程的升、降温功能。 ◆具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能。可存储九条工艺曲线。每条工艺曲线最多有九步。曲线间可以任意链接、重复。 ◆具有高抗干扰能力。 ◆具有多种工艺管路,可供用户随意灵活配置。 赛瑞达可为您提供斜滚式推拉舟系统,石英双杆推拉舟系统及SiC浆推拉舟系统 (2)该系统主要功能如下  ◆全中文操作界面,可编辑参数,操作简便。 ◆可保存多条工艺曲线,每条曲线可设置多步。 ◆工艺曲线的自动运行控制功能。 ◆自动运行中可暂停/继续运行功能。 ◆工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能。 ◆智能升降温斜率控制功能。 ◆PID参数自整定功能。 ◆可存储多组PID参数供系统运行调用功能。 ◆系统故障的检测与报警功能。 ◆系统误差修正(单点或多点动态修正功能)。 ◆智能悬臂推拉舟控制功能。 ◆工艺气体的程序控制功能(电磁阀/质量流量控制器)。 ◆停电后断点继续运行功能等等。 ★     该系统可根据用户的特殊要求增减或开发相应的功能 (1)  主要技术参数 ◆工作温度:400~600℃(最高温度小于800℃) ◆控制精度:≤±1.0℃  ◆恒温区长度: 定制 ◆开机重复性:≤±1.0℃ ◆冷态真空度: 10-1Pa ◆石英真空室内径:定制 ◆控制仪表:日本岛电公司原装进口控温仪 ◆环境温度:10~45℃ ◆相对湿度:≤85% ◆供电电源:三相五线   380V±10%   50Hz ◆炉体可移动 ◆可用气氛:H2,N2
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