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   Aerotech 2轴气浮平台 Aerotech  ABL1000气浮平台 1 专为高性能校准和装配应用设计 2 分辨率达2nm的直线编码器反馈 3 闭环分辨率可达1nm(使用A3200控制器) 4 全预加负载气浮导轨(空气轴承) 5 低噪音线性放大器 6 全部非接触设计 行程 ≤150 mm 精度 ±0.20 um 重复定位精度 ±0.05 um 直线度 ±0.25 um 平面度 ±0.25 um   Aerotech  ABL3600气浮平台 1 专为扫描显微镜/掩模/晶片检测独特应用设计 2 双轴,大孔,开放式结构 3 非接触直线编码器反馈,精度高 4 双直线电机驱动X Y 轴 5 所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承) 行程 ≤250 mm 精度 ±1 um 重复定位精度 ±0.20 um 直线度 ±0.50 um 平面度 ±1 um   Aerotech ABL8000气浮平台 1 专为有效负载大,负载重心偏离机架中心线的应用设计 2 十字交叉结构,刚性稳定性引人注目,几何特性极好 3 所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承) 4 行程达1米 5 直线编码器或激光干涉仪反馈 6 可集成包括花岗岩的XY子系统 行程 ≤1000 mm 精度 ±0.50 um 重复定位精度 ±0.20 um 直线度 ±0.40 um 平面度 ±0.40 um   Aerotech  ABL9000气浮平台 1 世上最高性能的气浮平台,适用于晶片,平板显示,光学检测和加工等要求苛刻的场合 2 所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承) 3 行程达1.2米X1.2米 4 Y轴双直线电机驱动 5 直线编码器或激光干涉仪反馈 6 主动控制偏转 行程 ≤1200 mm 精度 ±0.50 um 重复定位精度 ±0.10 um 直线度 ±0.50 um 平面度 ±0.50 um   Aerotech  AHL9000直线电机平台 1 专为晶片检测,平板显示加工和光学检测及制造应用设计 2 扫描轴是空气轴承,步进轴是机械轴承 3 行程达1.2米X1.2米 4 双直线电机驱动步进轴 5 直线编码器或激光干涉仪反馈 行程 ≤350 mm 精度 ±1.0 um 重复定位精度 ±0.20 um 直线度 ±0.60 um 平面度 ±0.60 um         Aerotech  ABG10000气浮平台 1 气浮导轨实现超平滑运动 2 所有轴都预加载荷 3 下面轴采用双无刷直线伺服电机驱动 3 行程达1 m x 1 m 4 非接触直线编码器(光栅) 5 可选Z 轴,隔振,机械底座和控制箱 6 适用于高速拾取/放置,自动化装配,视觉检测,点胶机,高精度检测. Travel 行程 ≤1000 mm Accuracy 精度 ±2.0 um Load 负载 84 kg   Aerotech  FiberCouple 130平台 1 同一条导轨上两个运动平台 2 独立或并列运动 3 2.5nm分辨率 4 非接触直线电机驱动 5 交钥匙的配套驱动和控制系统 6 适合辅助轴   Aerotech VascuLathe ACS/ASR 1.直线平台与旋转平台的高度集成化 2.ER筒夹系统使材料箝位自动化 3.可选夹紧装置夹紧管 4 先进的控制系统结构 5.单或双主轴结构 6.可选择湿切割 7.拥有两项专利Patent No. 7,038,334 Patent No. 7,105,956   Aerotech LaserTurn 1.直线平台与旋转平台的高度集成化 2.气动3爪卡盘或ER筒夹 3.较大的通孔可以使产品通过 4.可选择在前后加工的平台 5.直接驱动直线和旋转电机技术   Aerotech PlanarHD气浮平台 1 最大2 m/s扫描速度和5g加速度的输出 2 最快的转向和最小的稳定时间 3 主动偏转控制 4 直线光栅或激光干涉仪反馈 5 行程1.2 m x 1.2 m 行程 ≤12 00 mm 精度 ±300 nm 重复定位精度 ±50 nm 分辨率 0.25 nm   Aerotech APT 系列平转和倾斜组合转台 1 满足安全,国防建设和监测全球市场的需要 2 把先进的高精密机械与业界领先的控制技术结合在一起 3 惯性稳定 4 包含内置滑环,可连续旋转360 ° 5 高定位精度和速度性能 6 易于安装和系统集成的集成电路 7 低维护,高可靠性提供最低的拥有成本 平转: 最高速度180 ° /秒,持续360 ° 倾斜: 最高速度180 ° /秒,范围为± 95 ° 位置分辨率:7.6弧秒 定位精度: 120弧秒 有效载荷: 35公斤     Aerotech AOM360D 1两轴均360°连续旋转 2轴定位精度和重复性高 3轴抖动小,正交性好 4直驱无刷伺服电机 5高精度感应反馈 6无嵌齿效应设计,突出的速度稳定性 7负载直径达500毫米 8真空兼容机型可选 分辨率.27µrad 孔径范围203.2mm-508.0mm 负载7.0kg-50.0kg  
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